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王蔚. 田麗. 任明遠. 編著

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集成電路製造技術-原理與工藝

作者：

王蔚. 田麗. 任明遠. 編著

出版日期：2010-09-01
出版社：電子工業出版社
本書是哈爾濱工業大學“國家積體電路人才培養基地”教學建設成果，系統地介紹了矽積體電路製造當前 普遍採用的工藝技術，全書分5個單元。第1單元介紹矽襯底．主要介紹矽單晶的結構特點。單晶矽錠的拉制 ...
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