本書是哈爾濱工業大學“國家積體電路人才培養基地”教學建設成果，系統地介紹了矽積體電路製造當前 普遍採用的工藝技術，全書分5個單元。第1單元介紹矽襯底．主要介紹矽單晶的結構特點。單晶矽錠的拉制 及矽片(包含體矽片和外延矽片)的製造工藝及相關理論。第2～5單元介紹矽晶片製造基本單項工藝(氧化與 摻雜、薄膜製備、光刻、工藝集成與封裝測試)的原理．方法、設備，以及所依託的技術基礎及發展趨勢。附 錄A介紹以製作雙極型電晶體為例的微電子生產實習，雙極型電晶體的全部工藝步驟與檢測技術：附錄B介紹 工藝類比知識和sUPREM軟體。附錄部分可説明學生從理論走向生產實踐，對微電子產品製造技術的原理與工藝 全過程有更深入的瞭解。 本書可作為普通高校電子科學與技術．微電子學與固體電子學、微電子技術、積體電路設計及集成系統等 專業的專業課教材，也可作為積體電路晶片製造企業工程技木人員的參考書。

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