在邁入二十一世紀的過程中,創新的奈米科技成為新世紀的各產業驅動力。隨著人們對奈米科技研究經費與技術人力的投入,掩蓋在『奈米』這名詞的面紗被一一揭開,奈米科技的研究與應用逐漸的由基礎科學層面向外擴展,最初的成果是各式新效能的奈米材料的開發。在此同時當半導體產業持續追求更小、更快、更高效能的元件技術,奈米科技逐漸被導入半導體製造技術,藉以提高元件效率或是開創出全新的微電子元件技術,將半導體產業由次微米時代推向下一世代的『奈米電子時代』。
奈米世代中,各種介紹奈米科技的書籍如雨後春筍般的出現,但是大多是針對各種奈米科技作廣泛、初步的簡介,或是只針對單一技術項目作分析。對於有志於下世代微電子技術開發的研究人員以及學生來說,缺乏一本專門針對奈米電子的各項前瞻性技術綜合、深入的介紹。 奈米電子學內容涵蓋全新的物理、材料、相關技術整合於微電子製作技術。包含先進奈米級CMOS製程技術、前瞻奈米記憶體技術、以及引進全新材料、製程的新穎性奈米電子元件技術。希望對有志於從事微電子與奈米電子相關產業與研發的工程師,提供一本深入淺出的教材,藉以獲得相關的背景知識。同時本書也適用於各大專院校電子、電機科系作為奈米電子課程的輔助教材。
作者簡介:
魏拯華
現任清雲科技大學電子系教授,主要研究項目為非晶矽氫材料與薄膜電晶體之穩定度研究,目前進行中的研究為奈米碳管電晶體、奈米碳管感測器、有機電晶體以及軟性電子技術。
李敏鴻
2002年獲臺灣大學電機工程研究所博士學位,期間研究題目有快熱製程、快熱氧化、快熱化學氣相沉積設備、製程與應用。2002年進入工研院電子所服務至今,目前有平面顯示器之低溫多晶矽薄膜電晶體、有機自發光顯示器、可撓式電晶體等技術進行中。
劉致為
劉致為教授1987年從臺灣大學電機工程學系獲得碩士學位,1994年從美國普林斯頓大學電機工程學系獲得博士學位。目前在臺灣大學擔任教授。目前劉教授主要從事應變矽(鍺)CMOS、異質接面電晶體、CMOS光電元件以及power amplifier等。
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作者:魏拯華
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在邁入二十一世紀的過程中,創新的奈米科技成為新世紀的各產業驅動力。隨著人們對奈米科技研究經費與技術人力的投入,掩蓋在『奈米』這名詞的面紗被一一揭開,奈米科技的研究與應用逐漸的由基礎科學層面向外擴展,最初的成果是各式新效能的奈米材料的開發。在此同時當半導體產業持續追求更小、更快、更高效能的元件技術,奈米科技逐漸被導入半導體製造技術,藉以提高元件效率或是開創出全新的微電子元件技術,將半導體產業由次微米時代推向下一世代的『奈米電子時代』。
奈米世代中,各種介紹奈米科技的書籍如雨後春筍般的出現,但是大多是針對各種奈米科技作廣泛、初步的簡介,或是只針對單一技術項目作分析。對於有志於下世代微電子技術開發的研究人員以及學生來說,缺乏一本專門針對奈米電子的各項前瞻性技術綜合、深入的介紹。 奈米電子學內容涵蓋全新的物理、材料、相關技術整合於微電子製作技術。包含先進奈米級CMOS製程技術、前瞻奈米記憶體技術、以及引進全新材料、製程的新穎性奈米電子元件技術。希望對有志於從事微電子與奈米電子相關產業與研發的工程師,提供一本深入淺出的教材,藉以獲得相關的背景知識。同時本書也適用於各大專院校電子、電機科系作為奈米電子課程的輔助教材。
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魏拯華
現任清雲科技大學電子系教授,主要研究項目為非晶矽氫材料與薄膜電晶體之穩定度研究,目前進行中的研究為奈米碳管電晶體、奈米碳管感測器、有機電晶體以及軟性電子技術。
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2002年獲臺灣大學電機工程研究所博士學位,期間研究題目有快熱製程、快熱氧化、快熱化學氣相沉積設備、製程與應用。2002年進入工研院電子所服務至今,目前有平面顯示器之低溫多晶矽薄膜電晶體、有機自發光顯示器、可撓式電晶體等技術進行中。
劉致為
劉致為教授1987年從臺灣大學電機工程學系獲得碩士學位,1994年從美國普林斯頓大學電機工程學系獲得博士學位。目前在臺灣大學擔任教授。目前劉教授主要從事應變矽(鍺)CMOS、異質接面電晶體、CMOS光電元件以及power amplifier等。
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