微機械加工概論（修訂二版）

1章　導論(Introduction)1.1　微機電加工之定義1.2　技術發展歷程1.3　微機電系統的特性1.4　微機電加工分類1.5　產業應用1.5.1　微型化一個成功的策略1.5.2　醫療保健的應用1.5.3　資訊與通信產業應用1.5.4　交通事業的發展1.5.5　民生娛樂應用1.6　持續性的發展與展望2章　超精密砥粒加工(UltraPrecisionGrinding)2.1　前　言2.2　原理簡介2.2.1　主要部分2.3　加工模式2.3.1　研削與磨削2.3.2　晶圓切割技術2.3.3　線上磨輪削銳技術2.3.4　化學機械研磨2.3.5　介電材料2.4　產業應用2.4.1　晶圓切割技術的應用2.4.2　CMP的應用2.4.3　目前業界使用於量產的拋光機2.5　未來展望3章　微放電加工(Micro-EDM)3.1　前　言3.2　放電加工介紹3.2.1　電能的產生3.2.2　放電加工的原理3.2.3　熱的現象3.2.4　電極間現象3.2.5　力學之作用3.3　放電加工之線切割放電加工3.3.1　線切割放電加工之構造3.3.2　如何提高加工精度3.4　微放電加工技術(Micro-EDM)3.4.1　利用WEDG法製作微細電極的方法3.4.2　微放電加工法之應用實例3.5　微放電加工法之技術研發與方向4章　微鑽孔切削(MicroDrilling)4.1　前　言4.2　微鑽針(Micron-drill)鑽孔4.3　雷射微細孔加工4.3.1　紫外光雷射4.3.2　二氧化碳雷射4.3.3　飛秒脈衝雷射4.4　電子束高速細孔加工4.4.1　電子束加工裝置4.4.2　電子束鑽孔基本原理4.4.3　電子束加工特性4.4.4　電子束鑽孔應用4.5　超音波加工4.5.1　超音波加工機4.5.2　超音波加工的原理4.5.3　超音波遊離磨粒鑽孔4.5.4　超音波振動鑽孔4.5.5　超音波加工特性4.5.6　超音波振動加工應用5章　微銑削(MicroMilling)5.1　前　言5.2　高速銑削(Highspeedmilling，HSM)5.2.1　何謂高速銑削5.2.2　加工設備5.2.3　高速切削在實際生產中的應用5.2.4　刀具材料5.3　FIB(聚焦式離子束)在微銑削方面5.3.1　FIB簡介5.3.2　FIB銑削運用實例5.3.3　FIB微銑削刀具5.4　一字形微端銑刀5.4.1　加工舉例5.5　微切削5.5.1　前　言5.5.2　微切削特性分析5.5.3　結　論5.6　未來展望5.7　未來製造技術新趨勢6章　準分子雷射加工(ExcimerLaserAblation)6.1　前　言6.2　原理簡介6.2.1　準分子雷射基本原理簡介6.2.2　雷射加工模式簡介6.2.3　特殊結構加工方法簡述6.3　動　機6.4　雷射加工之基本操作概念6.5　實驗步驟6.5.1　實驗裝置6.5.2　實驗流程6.5.3　技術特性6.6　結果與討論6.6.1　成像位置6.6.2　加工解析度6.6.3　特殊結構之加工6.7　相關產業應用6.7.1　微細加工6.7.2　準分子雷射清洗應用6.7.3　低溫多晶矽雷射回火6.7.4　光纖式布拉格光柵6.7.5　準分子雷射雕刻應用6.7.6　其他工業應用6.8　未來展望6.9　結　論7章　聚離子束加工(FocusedIonBeamMachining)7.1　前　言7.2　工作原理7.2.1　離子源7.2.2　離子光學腔7.2.3　試片移動平台7.3　加工模式與應用7.3.1　植　入7.3.2　離子銑削7.3.3　離子誘發表面化學7.3.4　聚離子束微影或離子誘發化學於基材7.3.5　微粒子分析7.3.6　掃描式離子顯微鏡7.4　未來方向8章　光微影技術(Microlithography)8.1　前　言8.2　微影方式8.3　微影種類8.4　未來展望9章　微電鑄(Microelectroforming)9.1　前　言9.2　電鍍原理9.2.1　傳統電鑄9.2.2　微等級電鑄9.2.3　胺基磺酸鎳鍍浴9.3　電鍍基礎9.3.1　鍍浴中之質傳方式9.3.2　電荷轉移9.3.3　晶體成長(crystallization)9.4　加工模式9.4.1　電鍍工程9.4.2　鍍層的光澤化和平滑化9.5　產業需求與應用9.6　未來展望10章　微射出成形(MicroInjectionMolding)10.1　緒　論10.1.1　前　言10.1.2　動　機10.2　微射出成形原理簡介10.2.1　微射出成形之基本原理10.2.2　射出成形基本結構10.2.3　材料凝固與收縮10.2.4　後處理10.3　各種微射出成形加工模式10.3.1　無澆道成形10.3.2　共同射出成形10.3.3　發泡射出成形及結構發泡成形10.3.4　反應射出成形10.3.5　氣體輔助射出成形(GAIM)10.3.6　多色成形10.3.7　連續鏈式射出成形10.3.8　疊模成形或雙層模10.4　微射出成形的產業應用10.5　熱壓成形10.5.1　熱壓成形原理簡介10.5.2　熱壓裝置10.5.3　熱壓材料的選擇10.5.4　熱壓成形特色10.6　結果與討論10.6.1　微射出成形加工之優缺點10.6.2　微射出成形之未來展望10.6.3　結　論

1章　導論(Introduction)1.1　微機電加工之定義1.2　技術發展歷程1.3　微機電系統的特性1.4　微機電加工分類1.5　產業應用1.5.1　微型化一個成功的策略1.5.2　醫療保健的應用1.5.3　資訊與通信產業應用1.5.4　交通事業的發展1.5.5　民生娛樂應用1.6　持續性的發展與展望2章　超精密砥粒加工(UltraPrecisionGrinding)2.1　前　言2.2　原理簡介2.2.1　主要部分2.3　加工模式2.3.1　研削與磨削2.3.2　晶圓切割技術2.3.3　線上磨輪削銳技術2.3.4　化學機械研磨2.3.5　介電材料2.4　產業應用2.4.1　晶圓切割技術的應用2.4.2　CMP的應用2.4.3　目...