半導體製造技術與管理

目錄‧CH1緒論1-1第一篇製造工程篇.......................................................................................................1-1‧CH2製程整合工程...................................................................................................2-1　　2.1緒論...................................................................................................................2-1　　2.2解釋名詞..........................................................................................................2-14　　2.3製程、設備說明.............................................................................................2-26　　2.4應用...................................................................................................................2-42　　參考文獻................................................................................................................2-45‧CH3微影成像製造工程...........................................................................................3-1　　3.1緒論...................................................................................................................3-1　　3.2解釋名詞..........................................................................................................3-5　　3.3製程、設備說明.............................................................................................3-23　　3.4應用...................................................................................................................3-29　　參考文獻................................................................................................................3-33‧CH4蝕刻製程............................................................................................................4-1　　4.1緒論...................................................................................................................4-1　　4.2解釋名詞..........................................................................................................4-2　　4.3製程、設備說明.............................................................................................4-21　　4.4應用...................................................................................................................4-35　　參考文獻................................................................................................................4-39‧CH5薄膜製造工程...................................................................................................5-1　　5.1緒論...................................................................................................................5-1　　5.2解釋名詞..........................................................................................................5-4　　5.3薄膜製程、設備說明.....................................................................................5-20　　5.4應用...................................................................................................................5-45　　參考文獻................................................................................................................5-47‧CH6擴散製造工程...................................................................................................6-1　　6.1緒論...................................................................................................................6-1　　6.2解釋名詞..........................................................................................................6-2　　6.3製程、設備說明.............................................................................................6-12　　6.4應用...................................................................................................................6-35　　參考文獻................................................................................................................6-40‧CH7化學研磨製造工程...........................................................................................7-1　　7.1緒論...................................................................................................................7-1　　7.2解釋名詞..........................................................................................................7-5　　7.3製程、設備說明.............................................................................................7-18　　7.4應用...................................................................................................................7-23　　7.5未來發展趨勢..................................................................................................7-24‧CH8品質保證工程...................................................................................................8-1　　8.1緒論...................................................................................................................8-2　　8.2解釋名詞..........................................................................................................8-3　　8.3新產品、新製程之驗證................................................................................8-17　　8.4製程品質管制..................................................................................................8-24　　8.5客戶訴願處理..................................................................................................8-31　　8.6品質系統..........................................................................................................8-33　　參考文獻................................................................................................................8-35‧CH9廠務工程............................................................................................................9-1　　9.1潔淨室系統......................................................................................................9-1　　9.2純水系統及廢水處理系統............................................................................9-11　　9.3氣體及化學系統.............................................................................................9-23　　9.4電力系統..........................................................................................................9-30‧CH10自動化工程......................................................................................................10-1　　10.1緒論.................................................................................................................10-1　　10.2解釋名詞........................................................................................................10-2　　10.3半導體資訊系統的引進與評估.................................................................10-10　　10.4半導體前段資訊系統之架構和功能說明................................................10-20　　10.5半導體機台自動化整合..............................................................................10-32　　10.6自動倉儲傳送系統.......................................................................................10-39　　10.7網路&半導體產業.......................................................................................10-44　　10.8半導體資訊管理相關系統簡介.................................................................10-49　　參考文獻................................................................................................................10-52第二篇生產管理篇......................................................................................................10-1‧CH11半導體製造系統.............................................................................................11-1　　11.1半導體製造系統的離散事件模式.............................................................11-1　　11.2裴氏圖的基本定義.......................................................................................11-6　　11.3半導體製造系統的裴氏圖表達機制.........................................................11-9　　11.4半導體製造系統與管理..............................................................................11-16　　參考文獻................................................................................................................11-17‧CH12半導體廠生產管理.........................................................................................12-1　　12.1緒論.................................................................................................................12-1　　12.2半導體工廠組織與功能簡介......................................................................12-2　　12.3半導體製造系統特性...................................................................................12-3　　12.4半導體生產管理目標與任務......................................................................12-8　　12.5指標簡介........................................................................................................12-12‧CH13半導體廠生產規劃.........................................................................................13-1　　13.1緒論................................................................................................................13-1　　13.2生產規劃管理的目的與內容.....................................................................13-2　　13.3半導體廠產能規劃.......................................................................................13-12　　參考文獻................................................................................................................13-17‧CH14生產線排程與派工.........................................................................................14-1　　14.1緒論.................................................................................................................14-1　　14.2半導體廠生產排程.......................................................................................14-2　　14.3半導體廠現場派工.......................................................................................14-9　　參考文獻................................................................................................................14-16‧CH15生產現場管理.................................................................................................15-1　　15.1人力資源管理................................................................................................15-2　　15.2機台管理........................................................................................................15-7　　15.3現場生產系統與管理實務..........................................................................15-16　　15.4控擋片管理....................................................................................................15-20　　15.5潔淨室管理...................................................................................................15-28　　參考文獻................................................................................................................15-29‧CH16製程轉移與量產管理....................................................................................16-1　　16.1緒論.................................................................................................................16-1　　16.2半導體廠新製程、產品開發到量產的流程............................................16-3　　16.3半導體廠新製程技術移轉..........................................................................16-7　　16.4半導體廠新製程量產管理..........................................................................16-17　　參考文獻................................................................................................................16-23‧CH17統計製程管制.................................................................................................17-1　　17.1品質管理.........................................................................................................17-1　　17.2品質管制七大手法.......................................................................................17-6　　17.3統計製程管制................................................................................................17-16　　17.4管制圖.............................................................................................................17-17　　17.5計量值管制圖...............................................................................................17-21　　17.6計量值管制圖................................................................................................17-31　　17.7統計方法在半導體製造的應用.................................................................17-34　　參考文獻................................................................................................................17-36‧CH18資料挖礦..........................................................................................................18-1　　18.1緒論.................................................................................................................18-1　　18.2知識發現與資料挖礦..................................................................................18-2　　18.3資料挖礦工具................................................................................................18-7　　18.4資料挖礦挖掘結果類型..............................................................................18-13　　18.5資料挖礦於半導體製造之應用.................................................................18-16　　參考文獻................................................................................................................18-55‧CH19半導體業之決策分析與問題解析...............................................................19-1　　19.1前言.................................................................................................................19-1　　19.2決策分析........................................................................................................19-2　　19.3實例應用之問題解析...................................................................................19-26　　19.4結論.................................................................................................................19-65　　參考文獻................................................................................................................19-66‧CH20主管決策支援系統.........................................................................................20-1　　20.1高階主管資訊系統的簡介..........................................................................20-1　　20.2EIS的定義.......................................................................................................20-2　　20.3EIS的特性.......................................................................................................20-3　　20.4EIS在資訊系統中扮演的角色....................................................................20-4　　20.5開發EIS的程序..............................................................................................20-7　　20.6設計EIS的使用介面.....................................................................................20-8　　20.7EIS雛型系統的展示.....................................................................................20-10　　參考文獻................................................................................................................20-18‧CH21績效衡量與知識管理....................................................................................21-1　　21.1前言.................................................................................................................21-1　　21.2解釋名詞........................................................................................................21-2　　21.3文獻回顧........................................................................................................21-3　　21.4整合性績效管理系統及其發展程序.........................................................21-8　　21.5總結..................................................................................................................21-33　　參考文獻................................................................................................................21-33英文索引.........................................................................................................................37作者簡介.........................................................................................................................48

目錄‧CH1緒論1-1第一篇製造工程篇.......................................................................................................1-1‧CH2製程整合工程...................................................................................................2-1　　2.1緒論...................................................................................................................2-1　　2.2解釋名詞........................................................................................................