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第1章 潔淨室與空調
1-1 前 言
1-2 潔淨室定義與發展史
1-3 潔淨室標準與規格
1-4 潔淨室適用範圍
1-5 潔淨室分類
1-6 潔淨空氣流分析
1-7 不同障礙物對氣流之影響
1-8 潔淨室設計規劃
1-9 潔淨室震動、靜電、噪音、電磁干擾之防制
1-10 潔淨室空調設計
1-11 潔淨室建造、組裝材及程序
1-12 潔淨室測試與驗收
1-13 潔淨室運轉與維護管理
1-14 潔淨室自動化系統
1-15 潔淨室建造成本分析
第2章 超純水處理
2-1 前 言
2-1-1 純水之功能
2-1-2 水中之污染物
2-1-3 水中不純物之測定分析
2-2 超純水之製造
2-2-1 超純水之規範
2-2-2 純水製造類別分析
2-2-3 純水製造用膜材質比較
2-3 高科技產業用超純水
2-3-1 高科技廠純水製造流程
2-3-2 各製程模組件功能分析
2-3-3 超純水管路設計
2-3-4 超純水運轉、故障排除與品質監控
第3章 中央式化學品供應系統
3-1 前 言
3-2 化學品供應需求要素
3-3 化學品供應種類
3-4 化學品供應系統之架構與作用原理
3-5 化學品配管與安全考量
3-6 結 論
第4章 中央式氣體供應系統
4-1 前 言
4-2 光電廠和半導體廠所使用之氣體
4-3 氣體的規範
4-4 中央式氣體供應架構
4-5 供氣系統的安全技術
4-6 氣體的供應輸送
4-7 氣體供應的規劃與設計
第5章 廢水處理及回收
5-1 前 言
5-2 排放標準
5-3 廢水種類
5-4 廢水處理系統介紹
5-5 廢水處理之規劃設計運轉
第6章 電力供應與中央監控
6-1 前 言
6-2 電力供應系統組成
6-3 受電供電設備
6-4 建廠電力系統規劃
6-5 電力供應系統設備運轉管理
6-6 廠務中央監控系統
第7章 廠務設施架構
7-1 前 言
7-2 冰水及冷凝冷卻水
7-3 熱水、蒸氣與柴油、瓦斯供應系統
7-4 製程冷卻水
7-5 乾燥壓縮空氣／呼吸用空氣
7-6 製程真空和清潔用真空系統
第8章 環境保護與工業安全維護
8-1 前 言
8-2 環保與工安之功能目的
8-3 半導體與光電廠廢氣處理規劃
8-4 廢氣種類與排放標準
8-5 廢氣處理方式
8-6 廢棄物處理與減廢
8-7 有關環保相關申請文件及流程
8-8 工業安全與衛生維護
第9章 管路設計及空間佈置規劃
9-1 前 言
9-2 管路材質選用
9-3 氣體管路配管
9-4 管路標示
9-5 管路設計規劃
9-6 管路之空間佈置
第10章 建廠設計評估及施工監造管理
10-1 前 言
10-2 建廠工程規劃
10-3 建廠工程設計及施工執行流程
第11章 風險評估管理計劃
11-1 前 言
11-2 風險管理四要素
11-3 風險評估程序
11-4 損害防阻執行
11-5 災害復原計畫
第12章 高科技廠建廠及運轉成本分析
12-1 前 言
12-2 建廠時程
12-3 建廠成本分析
12-4 廠務系統用量分析
第13章 結 語
附 錄 簡稱字彙
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