内容説明
本書は長年半導体デバイスの表面現象に取り組んできた著者が、そのノウハウを明らかにするとともに、豊富な事例を盛り込みながら解説したもの。半導体デバイス・プロセスにこれから携わろうとしている方々に必須の書。
目次
第１章 半導体清浄化技術とは
第２章 半導体清浄化技術要論
第３章 パーティクル制御
第４章 ドライ洗浄
第５章 半導体清浄化技術の今後の動き
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