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新電子 9月號/2022 第438期：贏向後3奈米 (電子雜誌)
作者：
新電子編輯部
出版日期：2022-09-04
出版社：
新電子
封面故事贏向後3
奈米
要把電晶體做得更小，曝光技術無疑是關鍵。但光有曝光機，是無法推動先進製程發展的。本期專題刻意不談時下最熱門的EUV，而是環繞在EUV周邊的種種配套材料，以及把先進製程從搖籃推向市場 ...
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