作者：姚漢民, 胡鬆, 邢廷文著
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本書系統介紹主流技術－光學投影光刻的工作原理、系統組成、應用和發展前景、詳細介紹投影光刻物鏡、掩模矽片對準、鐳射定位工件台、分辨力增強技術以及整機集成。
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