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奈米薄膜技術與應用

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作者:陳光華、鄧金祥

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內容簡介

奈米薄膜材料具有特殊的物理和化學特性,在奈米電子學中有很重要的應用前景。本書主要介紹了當前有關奈米薄膜的製造、元件和應用中較前瞻的內容和資料,詳細地闡述了中外該領域的發展動向及趨勢。內容包括:奈米薄膜材料的基本概念;材料的製造方法以及物理、化學性能;半導體奈米量子點;Si基奈米薄膜與元件;奈米薄膜的電子轉移和單電子電導等。

作者簡介:

校訂者簡介:
張勁燕
現職:逢甲大學電子工程系副教授
學歷:交通大學電子工程系研究所博士
經歷:新加坡Intersil電子公司工程師
   ITT環宇電子公司工程部經理
   台灣電子電腦公司半導體廠廠長
   萬邦電子公司總工程師
   明新工專電子科副教授(或兼科主任)
   逢甲大學電機系副教授(或兼系主任)
專長:半導體元件、物理
   VLSI製程設備及廠務
   奈米科技
   積體電路構裝

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