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半導體乾蝕刻技術

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作者:野尻一男

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內容簡介

日本生產工程權威獎項得主力作,圖解與表格詳實,帶領工程師掌握半導體乾蝕刻技術的全貌,提升現場即戰力。

◎作者於1989年,以「有磁場微波電漿蝕刻技術的開發與實用化」受獎大河內紀念賞。1994年,以「低溫乾蝕刻設備的開發」受獎機械振興協會賞通產大臣賞。
◎圖解乾蝕刻技術的原理與實務,讓你一讀即懂。
◎由製程直到設備、新技術,更進一步設置有關電漿損傷的章節,以便理解全貌並了解乾蝕刻今後的課題與展望。

針對半導體乾蝕刻技術涉及的電漿物理、化學、材料、電磁等複雜現象,循序解析,詳解各環節的連帶影響,提升現場即時應變的作戰能力,為優秀工程師養成必備的工具書!

非等向性蝕刻是如何實現?為何Si的蝕刻使用Cl2及HBr,而SiO2的蝕刻則使用氟碳系列的氣體?為何Poly-Si及Al的蝕刻使用ICP(電感耦合式電漿)之類的高密度電漿,而SiO2的蝕刻則使用中密度電漿於間距狹窄的平行板型蝕刻機?

本書告訴你這些連現場資深乾蝕刻工程師都不見得充分理解的知識。

從乾蝕刻技術的基礎講到應用,讓初學者容易理解與整理;對於已有程度、經驗的工程師而言,讀之更加能理解、掌握乾蝕刻技術的全貌。

作者簡介:

野尻一男(Nojiri Kazuo)

  ■1973年 群馬大學工學部電子工學科畢業。
  ■1975年 群馬大學大學院工學研究科碩士課程修畢。
  ■1975年 進入日立製作所。在半導體事業部從事CVD、元件整合、乾蝕刻的研究開發。尤其是關於ECR電漿蝕刻、充電損傷,進行先驅的研究。而且擔任技術開發的領導,歷任許多經理職務。
  ■2000年 進入Lam Research公司擔任董事‧CTO至今。

  主要受獎
  ■1989年 以「有磁場微波電漿蝕刻技術的開發與實用化」受獎大河內紀念賞。
  ■1994年 以「低溫乾蝕刻設備的開發」受獎機械振興協會賞通產大臣賞。

  主要著作
  《先端電氣化學》(丸善)共著
  《半導體プロセスにおけるチャージング・ダメージ》(リアライズ社)共著

譯者簡介:

倪志榮(Ni, Chih-Jung)

  ■1988年 國立清華大學畢業
  ■1991年 中日交流協會留日獎學生
  ■1993年 日本東京大學工學院碩士
  ■2014年 中部科學園區模範勞工
  ■曾任地球村美日語中心日語講師

  現職華邦電子公司模組技術發展部經理,從事DRAM與Flash的製程研發。

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