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半導體工廠:設備、材料、製程及提升產業復興的處方籤

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作者:菊地正典

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商品資料
內容簡介

日本半導體界教父——菊地正典,集合40年業界心血結晶,完全介紹半導體工廠相關細節。
從設廠開始,各廠房的機台設備,水電來源,製程詳解,甚至提醒廠方與當地政府溝通,維持官商良好關係等。
除了半導體電子相關業界,也是各產業不能不讀的一本指南。
本書並由國立交通大學電子物理系教授 趙天生老師審定。

作者簡介:

菊地正典
1944年生,1968年日本東京大學工學部物理工學科畢業後,即進入日本電氣公司(NEC),從事一貫半導體元件及製程開發相關工作,累積半導體開發與量產的豐富經驗。1996年擔任NEC公司半導體事業集團總工程師,2000年擔任NEC電子元件總工程師,2002年起擔任日本半導體製造裝置協會(SEAJ)專務理事,2007年起擔任日本半導體能源研究所顧問。著作有:《圖解圖解電子裝置》(世茂出版),監修《圖解半導體製造裝置》(世茂出版)、《日本頂尖工程師的生存筆記》(智富出版)。

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