這些年來光電、生物科技迅速掘起加速更新,半導體也推陳出新挑戰極限,而這些改變則是需要嚴格的生產廠房及研發環境,但在目前市面是並無以有系統介紹建立高科技廠房的專業案頭書,有鑑於此,作者將二十多年來在高科技產業的執行及顧問經驗,將所有的廠務系統作全面有秩序的整理編寫。本書共分為十三大章,內容涵蓋了潔淨室和廠務之八大系統,除此之外有風險管理和建廠工程之規劃內容和執行原則介紹,本書的內容偏重實務之應用面和執行面。本書適合科大冷凍、空調、電子、電機系「半導體廠務」、「半導體與光電廠務設施」課程使用。
目錄
第1章 潔淨室與空調1-11-1 前 言1-11-2 潔淨室定義與發展史1-61-3 潔淨室標準與規格1-101-4 潔淨室適用範圍1-261-5 潔淨室分類1-361-6 潔淨空氣流分析1-521-7 不同障礙物對氣流之影響1-591-8 潔淨室設計規劃1-631-9 潔淨室震動、靜電、噪音、電磁干擾之防制1-751-10 潔淨室空調設計1-911-11 潔淨室建造、組裝材及程序1-1121-12 潔淨室測試與驗收1-1521-13 潔淨室運轉與維護管理1-1631-14 潔淨室自動化系統1-2011-15 潔淨室建造成本分析1-205第2章 超純水處理2-12-1 前 言2-12-1-1 純水之功能2-22-1-2 水中之污染物2-22-1-3 水中不純物之測定分析2-52-2 超純水之製造2-122-2-1 超純水之規範2-122-2-2 純水製造類別分析2-182-2-3 純水製造用膜材質比較2-222-3 高科技產業用超純水2-242-3-1 高科技廠純水製造流程2-242-3-2 各製程模組件功能分析2-262-3-3 超純水管路設計2-292-3-4 超純水運轉、故障排除與品質監控2-30第3章 中央式化學品供應系統3-13-1 前 言3-13-2 化學品供應需求要素3-23-3 化學品供應種類3-23-4 化學品供應系統之架構與作用原理3-63-5 化學品配管與安全考量3-123-6 結 論3-14第4章 中央式氣體供應系統4-14-1 前 言4-14-2 光電廠和半導體廠所使用之氣體4-24-3 氣體的規範4-54-4 中央式氣體供應架構4-64-5 供氣系統的安全技術4-134-6 氣體的供應輸送4-154-7 氣體供應的規劃與設計4-18第5章 廢水處理及回收5-15-1 前 言5-15-2 排放標準5-25-3 廢水種類5-55-4 廢水處理系統介紹5-65-5 廢水處理之規劃設計運轉5-14第6章 電力供應與中央監控6-16-1 前 言6-16-2 電力供應系統組成6-26-3 受電供電設備6-56-4 建廠電力系統規劃6-66-5 電力供應系統設備運轉管理6-246-6 廠務中央監控系統6-26第7章 廠務設施架構7-17-1 前 言7-17-2 冰水及冷凝冷卻水7-17-3 熱水、蒸氣與柴油、瓦斯供應系統7-37-4 製程冷卻水7-57-5 乾燥壓縮空氣/呼吸用空氣7-67-6 製程真空和清潔用真空系統7-8第8章 環境保護與工業安全維護8-18-1 前 言8-18-2 環保與工安之功能目的8-28-3 半導體與光電廠廢氣處理規劃8-28-4 廢氣種類與排放標準8-48-5 廢氣處理方式8-58-6 廢棄物處理與減廢8-188-7 有關環保相關申請文件及流程8-408-8 工業安全與衛生維護8-51第9章 管路設計及空間佈置規劃9-19-1 前 言9-19-2 管路材質選用9-29-3 氣體管路配管9-49-4 管路標示9-149-5 管路設計規劃9-179-6 管路之空間佈置9-21第10章建廠設計評估及施工監造管理10-110-1 前 言10-110-2 建廠工程規劃10-210-3 建廠工程設計及施工執行流程10-5第11章風險評估管理計劃11-111-1 前 言11-111-2 風險管理四要素11-211-3 風險評估程序11-511-4 損害防阻執行11-611-5 災害復原計畫11-10第12章高科技廠建廠及運轉成本分析12-112-1 前 言12-112-2 建廠時程12-212-3 建廠成本分析12-312-4 廠務系統用量分析12-7第13章結 語13-1附 錄簡稱字彙彙總附-1
第1章 潔淨室與空調1-11-1 前 言1-11-2 潔淨室定義與發展史1-61-3 潔淨室標準與規格1-101-4 潔淨室適用範圍1-261-5 潔淨室分類1-361-6 潔淨空氣流分析1-521-7 不同障礙物對氣流之影響1-591-8 潔淨室設計規劃1-631-9 潔淨室震動、靜電、噪音、電磁干擾之防制1-751-10 潔淨室空調設計1-911-11 潔淨室建造、組裝材及程序1-1121-12 潔淨室測試與驗收1-1521-13 潔淨室運轉與維護管理1-1631-14 潔淨室自動化系統1-2011-15 潔淨室建造成本分析1-205第2章 超純水處理2-12-1 前 言2-12-1-1 純水之功能2-22-1-2 水中之污染物2...
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