作者：溫榮弘
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本書以氣體分子作為一種『工具』來切入微奈米加工的物理、化學原理講解，並且不以半導體元件或大學程度的電磁學為前提，而以高中層級的物理講解，特別以能理解力學系統領域的知識為重點。對現象的物理模型以數學式描述，可幫助原理的理解；重要的數學式和概念清楚說明強調，並對應到附錄中進行解說。且對於將來進行進階專業等的發展學習研究時，基礎技術人員也能獨立學習而有相當成效。本書適用機械系、材料系、資訊系、電子相關科系，或對『微奈米加工學』有興趣者皆可研讀。
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