微機電系統是20世紀末興起，並在21世紀初開始快速發展的高科技前沿領域。其所涉及領域不斷擴大，相關研究也日趨深入。本書主要介紹相關的工程基礎知識。本書共11章，較為詳細地介紹了半導體製作工藝、執行器、微系統的工作機理及製作方法和應用範圍、各種新發展的微檢測技術、微系統設計、建模方法和應注意的事項等，還重點介紹了微機電系統的固體力學、微流體力學和微尺度傳熱的基礎知識，分析了微系統中的工程特點，與傳統工程科學的區別，傳統理論在微機電系統應用中所受到的限制及其修正，微機電系統中常見的失效方式及其應對原則等。
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微機電系統是20世紀末興起，並在21世紀初開始快速發展的高科技前沿領域。其所涉及領域不斷擴大，相關研究也日趨深入。本書主要介紹相關的工程基礎知識。本書共11章，較為詳細地介紹了半導體製作工藝、執行器、微系統的工作機理及製作方法和應用範圍、各種新發展的微檢測技術、微系統設計、建模方法和應注意的事項等，還重點介紹了微機電系統的固體力學、微流體力學和微尺度傳熱的基礎知識，分析了微系統中的工程特點，與傳統工程科學的區別，傳統理論在微機電系統應用中所受到的限制及其修正，微機電系統中常見的失效方式及其應對原則等。
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