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王琪民.劉明侯.秦豐華編著

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微機電系統工程基礎

出版日期:2010-01-01
微機電系統是20世紀末興起,並在21世紀初開始快速發展的高科技前沿領域。其所涉及領域不斷擴大,相關研究也日趨深入。本書主要介紹相關的工程基礎知識。本書共11章,較為詳細地介紹了半導體製作工藝、執行器、 ...


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