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王琪民.劉明侯.秦豐華編著

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微機電系統工程基礎

作者：

王琪民.劉明侯.秦豐華編著

出版日期：2010-01-01
出版社：中國科學技術大學出版社
微機電系統是20世紀末興起，並在21世紀初開始快速發展的高科技前沿領域。其所涉及領域不斷擴大，相關研究也日趨深入。本書主要介紹相關的工程基礎知識。本書共11章，較為詳細地介紹了半導體製作工藝、執行器、 ...
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