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(英) 張 (Cheung.R.) . 著

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用於惡劣環境的碳化矽微機電系統

作者：

(英) 張 (Cheung.R.) . 著

出版日期：2010-03-01
出版社：科學出版社
碳化矽以其優異的溫度特性、電遷移特性、機械特性等，越來越被微電 子和微機電系統研究領域所關注，不斷有新的研究群體介入這一材料及其 應用的研究。本書是目前澤者見到的唯一一本系統論述碳化矽微機電系統 ...
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