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1積體電路製作技術簡介 1積體電路製作技術簡介 2晶體製備及量測 2晶體製備及量測 3磊晶 3磊晶 4氧化暨擴散 4氧化暨擴散 5離子佈植 5離子佈植 6其他絕緣層及複晶矽薄膜的鍍製 6其他絕緣層及複晶矽薄膜的鍍製 7光罩製版技術 7光罩製版技術 8蝕刻技術 8蝕刻技術 9金屬化 9金屬化 10積體電路製作 10積體電路製作 參考資料 參考資料
1積體電路製作技術簡介 1積體電路製作技術簡介 2晶體製備及量測 2晶體製備及量測 3磊晶 3磊晶 4氧化暨擴散 4氧化暨擴散 5離子佈植 5離子佈植 6其他絕緣層及複晶矽薄膜的鍍製 6其他絕緣層及複晶矽薄膜的鍍製 7光罩製版技術 7光罩製版技術 8蝕刻技術 8蝕刻技術 9金屬化 9金屬化 10積體電路製作 10積體電路製作 參考資料 參考資料
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