碳化矽以其優異的溫度特性、電遷移特性、機械特性等，越來越被微電
子和微機電系統研究領域所關注，不斷有新的研究群體介入這一材料及其
應用的研究。本書是目前澤者見到的唯一一本系統論述碳化矽微機電系統
的著作，作者是來自英國、美國從事碳化矽微機電系統研究的幾位元學者，他
們系統綜述了碳化矽生長、加工、接觸、腐蝕和應用等環節的技術和現狀，匯
聚作者大量的經驗和智彗．

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