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ch01超精密加工的必要性1-1前言1-2奈米技術1-3超精密加工的用途1-4超精密工法ch02超精密加工機械2-1前言2-2超精密加工之設計2-3迴轉要素2-4直線運動要素2-5定位控制2-6機體構造2-7環境ch03超精密切削3-1前言3-2超精密切削面的形狀3-3切削工具3-4利用單精鑽石3-5鐵系材料切削3-6超精密鑽石切削的應用例3-7大輸出CO2雷射用反射透鏡3-8具微細溝槽的柵狀透鏡3-9結語ch04超精密研磨4-1特殊半導體基板的高精度研磨法4-2精密陶瓷之鏡面研磨ch05超精密拋光5-1前言5-2拋光加工的力學作用5-3拋光加工的化學作用5-4乾式超精密拋光5-5結語ch06微影成像及蝕刻6-1微影成像6-2蝕刻技術ch07高精度塑膠透鏡7-1前言7-2高精度塑膠製品的現狀7-3高精度塑膠透鏡的要素技術7-4高精度塑膠透鏡的品質管制7-5高精度塑膠透鏡的未來展望
ch01超精密加工的必要性1-1前言1-2奈米技術1-3超精密加工的用途1-4超精密工法ch02超精密加工機械2-1前言2-2超精密加工之設計2-3迴轉要素2-4直線運動要素2-5定位控制2-6機體構造2-7環境ch03超精密切削3-1前言3-2超精密切削面的形狀3-3切削工具3-4利用單精鑽石3-5鐵系材料切削3-6超精密鑽石切削的應用例3-7大輸出CO2雷射用反射透鏡3-8具微細溝槽的柵狀透鏡3-9結語ch04超精密研磨4-1特殊半導體基板的高精度研磨法4-2精密陶瓷之鏡面研磨ch05超精密拋光5-1前言5-2拋光加工的力學作用5-3拋光加工的化學作用5-4乾式超精密拋光5-5結語ch06微影成像...
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