本書內容分為基礎及實務兩篇，基礎篇探討真空技術的理論及真空元組件等，包括真空技術的基礎理論、各式真空幫浦的介紹、各類真空元件及材料、真空系統的設計組裝、真空測漏，以及真空度量與檢校等；而實務篇則介紹真空技術的應用，內容包括真空技術在各種鍍膜技術、製程系統及學術領域的應用與需求。此書邀集了產、學界五十餘位專家共同執筆撰寫而成的，故內容則是累積了許多技術經驗。鑑於真空技術在科學研究與產業發展上的重要性，且落實科技書籍中文化，便利民眾閱讀，亦為本中心的重要工作之一。
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