ELID鏡面研削技術

開發篇研究的背景開發的過程第1章發現放電複合削銳的效果1.1實驗系統1.2放電複合研削實驗方式1.3放電複合研削實驗結果1.4實驗結果的考察第2章電解線上削銳研削法的基礎開發2.1基礎實驗系統2.2實驗方法2.3矽晶圓的鏡面研削實驗2.4鐵氧體的鏡面研削實驗2.5加工現象考察2.6鏡面研削效果與實用方面的期待第3章ELID鏡面研削法的基本形態與適用方式3.1ELID研削法的改良及其過程3.2ELID鏡面研削的原理3.3ELID鏡面研削系統3.4陶瓷的ELID鏡面研削實驗3.5光學玻璃的ELID鏡面研削特性及效果3.6適用ELID的縱向進給鏡面研削試驗3.7適用ELID的縱向進給研削實驗系統3.8矽晶圓的ELID縱向進給研削實驗3.9結論適用篇第4章ELID研削法對平面加工的適用4.1ELID法的平面研削4.2盆狀磨輪的ELID鏡面研削法4.3盆狀磨輪的ELID鏡面研削實驗系統4.4矽晶圓的ELID鏡面研削實驗4.5鋼鐵材料的ELID鏡面研削試驗4.6平直形磨輪的ELID鏡面研削法基礎開發4.7平直形磨輪的ELID鏡面研削實驗系統4.8平直形磨輪的ELID研削加工實驗及考察第5章ELID研削法對圓筒加工的適用5.1盆狀磨輪的ELID圓筒外周鏡面研削法5.2盆狀磨輪的ELID圓筒鏡面研削系統5.3氮化矽陶瓷的ELID圓筒鏡面研削實驗5.4平直形磨輪的ELID圓筒外周鏡面研削5.5ELID削正法的原理5.6平直形磨輪的ELID圓筒外周鏡面研削系統5.7平直形磨輪的各種材料ELID圓筒外周研削實驗第6章ELID研削法對圓筒內圓加工的適用6.1電解線上削銳的圓筒內圓鏡面研削法6.2ELID圓筒內圓鏡面研削系統6.3各種陶瓷的ELID圓筒內圓鏡面研削實驗6.4各種鋼鐵材料的ELID圓筒內圓鏡面研削實驗6.5電解間歇削銳研削法的小徑圓筒內圓鏡面加工6.6小徑內圓施行ELIDII鏡面研削實驗系統及實驗方法6.7硬脆材料的小徑圓筒內圓ELIDII鏡面研削實驗6.8鋼鐵材料的小徑圓筒內圓ELIDII鏡面研削實驗第7章ELID的球面與非球面鏡面研削7.1球面與非球面的ELID研削法開發7.2球面透鏡、非球面反射鏡之類的ELID研削實驗系統7.3球面透鏡的ELID研削實驗7.4球面與非球面反射鏡的ELID研削實驗7.5ELID鏡面研削非球面光學元件的製法7.6ELID鏡面研削非球面透鏡的加工實驗系統7.7非球面透鏡施行ELID鏡面研削實驗第8章ELID的高效率研削法8.1ELID高效率研削8.2ELID高效率研削實驗系統8.3硬脆材料施行ELID高效率研削的基礎實驗8.4硬脆材料施行ELID高效率研削的應用實驗8.5鋼鐵材料施行ELID高效率研削8.6鋼鐵材料施行ELID高效率研削實驗系統8.7鑄鐵黏結磨輪施行鋼鐵材料的ELID高效率研削實驗8.8青銅黏結磨輪施行鋼鐵材料的ELID高效率研削實驗考察篇第9章ELID研削的機構與組成部分9.1ELID研削的組成部分9.2ELID研削的電解現象與機構9.3電解削銳引起的電性行為與非導體薄膜的關係9.4金屬黏結磨輪種別導致電解現象與ELID研削特性9.5電解削銳特性中的電性條件影響9.6電解波形導致電解削銳特性與ELID研削特性的差異9.7研削液導致電解削銳特性與ELID研削特性差異9.8電解波形與研削液組合的影響9.9ELID電解特性與因應對象作業9.10交流對ELID研削的應用與效果9.11交流ELID研削實驗系統9.12交流ELID高效率研削實驗9.13交流ELID研削切斷實驗9.14直流電源的ELID研削應用及適用領域9.15直流ELID研削實驗系統9.16直流ELID研削實驗9.17結論展開篇第10章ELID施行固定磨粒拉削的「拉磨法」10.1適用ELID的定壓研削10.2ELID施行固定磨粒拉削的「拉磨法」10.3ELID拉磨實驗系統10.4ELID對矽施行拉磨實驗10.5氧化鋁陶瓷的ELID拉磨實驗10.6鐵系材料的ELID拉磨實驗10.7次微米磨粒磨輪施行ELID拉磨法10.8ELID拉磨實驗系統10.9#120,000磨石施行ELID拉磨實驗10.10#3,000,000磨石施行ELID拉磨實驗第11章ELID削正法的開發11.1基於ELID研削的精密削正法11.2ELID削正法11.3ELID削正實驗系統11.4ELID削正的基礎實驗11.5ELID削正的效果與特性11.6ELID削正法的適用方式第12章各種材料的ELID鏡面研削特性12.1各種材料的ELID鏡面研削12.2各種材料適用ELID鏡面研削的方法12.3ELID鏡面研削實驗系統12.4模具材料(鋼鐵材料)的ELID鏡面研削事例12.5不銹鋼的ELID鏡面研削特性12.6不銹鋼與陶瓷的同時ELID研削12.7鑽石的ELID研削效果12.8藍寶石、塑膠材料的ELID研削實驗系統12.9藍寶石的ELID鏡面研削效果12.10塑膠材料的ELID鏡面研削效果第13章ELID研削法應用在特殊加工上13.1ELID研削切斷加工13.2ELID研削切斷加工實驗系統13.3ELID鏡面研削切斷實驗13.4陶瓷的高效率ELID研削切斷加工13.5電解削銳的雙面拉磨嘗試13.6ELID的雙面拉磨實驗13.7行星運動的雙面ELID拉磨13.8行星運動的ELID拉磨實驗第14章ELID專用加工機的開發及其特性14.1ELID迴轉式平面磨床14.2迴轉式平面磨床14.3ELID超精密成形平面磨床14.4超精密ELID非球面加工機14.5ELID搪磨床14.6ELID研削切斷機14.7ELID無心磨床14.8ELID拉磨床第15章ELID研削的實用秘訣15.1ELID電極面積的影響15.2ELID研削機構的解析15.3ELID用研削液稀釋倍率的影響15.4CBN磨輪對石英玻璃的ELID鏡面研削15.5ELID研削實用上的各種試製及開發事例索引

開發篇研究的背景開發的過程第1章發現放電複合削銳的效果1.1實驗系統1.2放電複合研削實驗方式1.3放電複合研削實驗結果1.4實驗結果的考察第2章電解線上削銳研削法的基礎開發2.1基礎實驗系統2.2實驗方法2.3矽晶圓的鏡面研削實驗2.4鐵氧體的鏡面研削實驗2.5加工現象考察2.6鏡面研削效果與實用方面的期待第3章ELID鏡面研削法的基本形態與適用方式3.1ELID研削法的改良及其過程3.2ELID鏡面研削的原理3.3ELID鏡面研削系統3.4陶瓷的ELID鏡面研削實驗3.5光學玻璃的ELID鏡面研削特性及效果3.6適用ELID的縱向進給鏡面研削試驗3.7適用ELID的縱向進給研...