本書為一本LTPS的入門書,分成三大部分:第一部份介紹LTPS結構,第二部份介紹LTPS技術開發與現況,第三部份介紹下世代顯示技術開發,作者以淺顯易懂之辭句,將LTPS原理與應用完整呈現,本書內容有:低溫複晶矽簡介、特性、結構、可靠度、LTPS氧化層技術、成膜技術、離子植入技術、低溫複晶矽面版開發現況、低耗電顯示技術、大面積低溫複晶矽之挑戰、主動式有機電激發光顯示技術、可撓曲低溫複晶矽顯示技術等,適合對LTPS低溫複晶矽顯示器技術有興趣之社會人士使用。
目錄
第1章 諸論-低溫複晶矽的世代
1.1 前 言1-1
1.2 平面顯示器之分類1-1
1.3 低溫複晶矽開發歷史1-6
1.4 低溫複晶矽之優勢1-9
第2章 低溫複晶矽特性與結構
2.1 前 言2-1
2.2 LTPS薄膜電晶體之特性2-1
2.3 低溫複晶矽畫素之結構2-10
2.4 廣視角畫素之結構2-25
第3章 低溫複晶矽之可靠度
3.1 前 言3-1
3.2 LTPS元件可靠度3-1
3.3 LTPS陣列可靠度3-20
3.4 陣列測試3-28
第4章 LTPS氧化層技術
4.1 前 言4-1
4.2 玻璃基板4-1
4.3 緩衝層4-12
4.4 閘極界電層4-15
4.5 層間界電層4-26
第5章 LTPS複晶矽成膜技術
5.1 前 言5-1
5.2 直接沈積型複晶矽5-2
5.3 再結晶型複晶矽5-6
5.4 雷射結晶系統5-13
5.5 複晶矽成膜機制5-16
5.6 結晶品質提升5-20
5.7 下一代複晶矽技術5-28
第6章 LTPS離子植入技術
6.1 前 言6-1
6.2 顯示器用植入系統6-1
6.3 汲極與源極端摻雜6-7
6.4 輕摻雜汲極端6-16
6.5 通道摻雜6-22
6.6 離子活化製程6-24
第7章 低溫複晶矽面板開發現況
7.1 前 言7-1
7.2 日本低溫複晶矽之開發7-1
7.3 韓國低溫複晶矽之開發7-34
7.4 台灣低溫複晶矽之開發7-41
第8章 低耗電顯示技術
8.1 前 言8-1
8.2 功率消耗8-1
8.3 薄膜二極體顯示器8-2
8.4 反射式液晶顯示器8-11
8.5 半透式液晶顯示器8-16
8.6 省電設計8-24
第9章 大面積低溫複晶矽之挑戰
9.1 前 言9-1
9.2 大面積玻璃基板9-1
9.3 前段陣列製程9-7
9.4 後段液晶製程9-19
9.5 背光模組9-30
9.6 高畫質驅動系統9-39
9.7 大面積主動式平面影像感測器9-44
第10章 主動式有機電激發光顯示技術
10.1 前 言10-1
10.2 AMOEL的歷史10-1
10.3 AMOEL驅動方式10-3
10.4 AMOEL彩色化與製造流程10-9
10.5 陰陽電極特性10-17
10.6 OEL面板可靠性10-22
10.7 有機發光二極體驅動設計10-25
第11章 可撓曲低溫複晶矽顯示技術
11.1 前 言11-1
11.2 玻璃基板之限制11-1
11.3 可撓曲主動元件11-9
11.4 可撓曲之低溫複晶矽11-15
11.5 塑膠基板轉貼技術11-30
第12章 低溫複晶矽的未來
12.1 低溫複晶矽技術藍圖12-1
12.2 低溫複晶矽之挑戰12-4
12.3 結 語12-6
附 錄
第1章 諸論-低溫複晶矽的世代
1.1 前 言1-1
1.2 平面顯示器之分類1-1
1.3 低溫複晶矽開發歷史1-6
1.4 低溫複晶矽之優勢1-9
第2章 低溫複晶矽特性與結構
2.1 前 言2-1
2.2 LTPS薄膜電晶體之特性2-1
2.3 低溫複晶矽畫素之結構2-10
2.4 廣視角畫素之結構2-25
第3章 低溫複晶矽之可靠度
3.1 前 言3-1
3.2 LTPS元件可靠度3-1
3.3 LTPS陣列可靠度3-20
3.4 陣列測試3-28
第4章 LTPS氧化層技術
4.1 前 言4-1
4.2 玻璃基板4-1
4.3 緩衝層4-12
4.4 閘極界電層4-15
4.5 層間界電層4-26
第5章 LTPS複晶矽成膜技術
5.1 ...
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