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作者簡介：

菊地正典˙影山隆雄
菊地正典 1944年生，1968年東京大學工學部物理工學科畢業後，即進入日本電氣公司（NEC），長期從事半導體元件及製程開發相關工作，累積半導體開發與量產的豐富經驗。1996年擔任NEC公司半導體事業集團總工程師，2000年擔任NEC電子元件總工程師，2002年起擔任日本半導體製造裝置協會（SEAJ）專務理事。主要著作有：《圖解半導體》（世茂出版）、《圖解電子回路》、《半導體用語辭典》（以上日本實業社出版），監修《圖解半導體製造裝置》（世茂出版）。 影山隆雄 1968年東北大學工學部電氣工學科畢業。進入日本電氣公司（NEC）後，主要從事微波電子管及氣體雷射開發相關工作。1983年以「大電力微波管的CAD系統研究」獲得東北大學工學博士學位。2002年10月起參與財團法人北九州產業學術推進機構的工作，先後擔任該機構人力技術群聚推進中心執行長、中小企業支援中心執行長。並擔任日本文部科學省推動的「北九州知識產業群聚創成事業」事業總括，也是國際電機電子工程師學會（IEEE）電子元件學會委員、日本學術振興會委員。

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