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真空工藝與實驗技術

出版日期:2006-08-01
本書主要介紹了真空材料的表面淨化處理、真空材料的除氣、真空系統的檢測技術等內容。. ...

真空鍍膜設備

出版日期:2009-08-01
本書詳細介紹了真空鍍膜設備的設計方法與鍍膜設備各機構元件的設計計算、設計參數的選擇,其中重點、系統地介紹了磁控濺射靶的設計計算和濺射鍍膜的膜厚均勻性設計。全書共分13章,主要講解真空鍍膜室結構、鍍膜室 ...


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