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李朱育、劉建聖、利定東、洪基彬、蔡裕祥、黃衍任、王雍行、林央正、胡平浩、李炫璋 、楊鈞杰、莊傳勝、林敬智

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光機電產業設備系統設計（初版）

作者：

李朱育、劉建聖、利定東、洪基彬、蔡裕祥、黃衍任、王雍行、林央正、胡平浩、李炫璋 、楊鈞杰、莊傳勝、林敬智

出版日期：2013-11-01
出版社：五南圖書出版股份有限公司
我國半導體光電產業經過二十餘年來的發展，已經形成完整的供應鏈體系。在這半導體光電產業鏈中，製程設備與檢測設備是最關鍵的一環。這些設備的性能，關係著生產的成本及品質。「設備本土化」將是臺灣半導體製程設備 ...
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