固體材料的表面問題既已發展成一非常多樣化的科技，很多出版的參考書籍以專題深入探討或以工具書出現，不易為初學者所接受，也不適宜當教材之用。因此作者就重要的問題分成十二章討論。這十二章的結構實際上可以看成五個部份，第一部份為基礎篇，這些都是乾式氣相表面處理最常面臨的技術。第二部份為氣相技術篇，乃常見的乾式氣相表面處理技術。第三部份為液相技術篇，亦即最傳統的表面處理技術，包括無極鍍、化成、取代及電鍍和電鑄，陽極處理實際上相等於電化學反應的化成作用。第四部份為薄膜篇，包括薄膜的成長及微結構、薄膜的特性及量測。第五部份為前瞻篇，它們已脫離常見表面技術的章節，其中有微機電系統、奈米技術及表面的物理化學性質。本書適合大學、科大、技術學院機械工程、電機、電子材料、化學工程科系『薄膜技術』課程使用。
目錄
第1章 緒 論一、表面處理的意義二、表面處理的應用三、表面處理的分類四、結 語第2章 基本設備一、溫度的量測二、真空系統第3章 認識電漿一、電漿的產生二、電漿的特性三、電漿的化學反應四、電漿在表面技術上的應用第4章 物理蒸鍍一、熱力學二、氣體動力學三、蒸 鍍四、蒸鍍設備五、合金蒸鍍六、化合物蒸鍍七、應 用第5章 濺射鍍膜一、前 言二、粒子的撞擊三、動能的轉移四、撞擊效應五、濺射的方法六、濺射係數七、濺射鍍膜技術八、靶 材九、濺鍍和熱蒸鍍的比較十、應 用第6章 化學氣相蒸鍍一、前 言二、化學問題三、熱力學的問題四、化學動力學的問題五、CVD設備及系統六、應 用第7章 液相表面處理一、前 言二、前處理三、無極電鍍四、取代反應五、化成披覆六、電 鍍七、陽極處理八、電 鑄九、廢水處理第8章 薄膜的成長及微結構一、前 言二、表面前清理三、薄膜的成長四、微結構五、磊 晶第9章 薄膜特性及量測一、前 言二、厚 度三、薄膜特性四、表面分析儀器五、其他表面分析儀器第10章 表面蝕刻及微機電系統一、圖樣化及蝕刻二、微機電系統三、矽製程四、深刻模造五、結 語第11章 奈米技術一、奈米材料二、奈米科技發展史三、奈米合成和表面技術四、奈米材料之特徵五、奈米材料之應用六、結 語第12章 表面的物理化學性質一、前 言二、表面張力三、電 濕四、L-B薄膜
第1章 緒 論一、表面處理的意義二、表面處理的應用三、表面處理的分類四、結 語第2章 基本設備一、溫度的量測二、真空系統第3章 認識電漿一、電漿的產生二、電漿的特性三、電漿的化學反應四、電漿在表面技術上的應用第4章 物理蒸鍍一、熱力學二、氣體動力學三、蒸 鍍四、蒸鍍設備五、合金蒸鍍六、化合物蒸鍍七、應 用第5章 濺射鍍膜一、前 言二、粒子的撞擊三、動能的轉移四、撞擊效應五、濺射的方法六、濺射係數七、濺射鍍膜技術八、靶 材九、濺鍍和熱蒸鍍的比較十、應 用第6章 化學氣相蒸鍍一、前 言二、化學問題三、熱力...
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